Tantalum carbide yokutidwa ndi susceptor mbale yothandizirandi susceptor kapena thandizo dongosolo kuti yokutidwa ndi wosanjikiza woonda watantalum carbide. Chophimba ichi chikhoza kupangidwa pamwamba pa susceptor ndi njira monga thupi vapor deposition (PVD) kapena chemical vapor deposition (CVD), kupatsa mphamvu mphamvu ya susceptor.tantalum carbide.
Semicera imapereka zokutira zapadera za tantalum carbide (TaC) pazinthu zosiyanasiyana ndi zonyamulira.Semicera kutsogolera njira yokutira imathandizira zokutira za tantalum carbide (TaC) kuti zikhale zoyera kwambiri, kukhazikika kwa kutentha kwambiri komanso kulolerana kwamankhwala, kupititsa patsogolo mtundu wamakristali a SIC/GAN ndi zigawo za EPI (Graphite yokutidwa ndi TaC susceptor), ndi kukulitsa moyo wa zigawo zikuluzikulu za reactor. Kugwiritsa ntchito tantalum carbide TaC ❖ kuyanika ndi kuthetsa vuto m'mphepete ndi kusintha khalidwe la kristalo kukula, ndi Semicera wapambana anathetsa tantalum carbide ❖ kuyanika luso (CVD), kufika mlingo mayiko apamwamba.
Pambuyo pazaka za chitukuko, Semicera yagonjetsa teknoloji yaCVD TaCndi zoyesayesa zolumikizana za dipatimenti ya R&D. Zowonongeka ndizosavuta kuchitika pakukula kwa zowotcha za SiC, koma mutatha kugwiritsa ntchitoTaC, kusiyana kwake ndi kwakukulu. Pansipa pali kufananiza kwa zophika zophika ndi popanda TaC, komanso magawo a Simicera pakukula kwa kristalo imodzi.
Zina zazikulu za mbale zothandizira za tantalum carbide ndizo:
1. Kukhazikika kwa kutentha kwapamwamba: Tantalum carbide ili ndi kukhazikika kwapamwamba kwambiri kwa kutentha, kumapangitsa mbale yophimba pansi kuti ikhale yoyenera kuthandizira kumalo ogwirira ntchito kutentha kwambiri.
2. Kukana kwa dzimbiri: Kupaka kwa Tantalum carbide kumakhala ndi kukana kwa dzimbiri, kumatha kukana dzimbiri ndi makutidwe ndi okosijeni, ndikukulitsa moyo wautumiki wa mazikowo.
3. Kuuma kwakukulu ndi kukana kuvala: Kulimba kwapamwamba kwa tantalum carbide ❖ kuyanika kumapereka mbale yoyambira yothandizira kukana kuvala bwino, yomwe ili yoyenera pazochitika zomwe zimafuna kukana kuvala kwakukulu.
4. Kukhazikika kwa Chemical: Tantalum carbide imakhala ndi kukhazikika kwamitundu yosiyanasiyana yamankhwala, kupangitsa kuti mbale yothandizira yophimbidwa izichita bwino m'malo owononga.
ndi komanso popanda TaC
Mukatha kugwiritsa ntchito TaC (kumanja)
Komanso, Semicera'sZinthu zokutidwa ndi TaCkuwonetsa moyo wautali wautumiki komanso kukana kutentha kwambiri poyerekeza ndiZovala za SiC.Miyezo ya labotale yawonetsa kuti athuZovala za TaCimatha kuchita mosasinthasintha kutentha mpaka madigiri 2300 Celsius kwa nthawi yayitali. M'munsimu muli zitsanzo za zitsanzo zathu:
