TaC Coated Plate ndi chimbale chapadera chopangidwa kuti chigwiritsidwe ntchito munjira za SiC epitaxial, chopangidwa mwatsatanetsatane kuchokera kuzinthu zapamwamba za graphite. Pamwamba pake amakutidwa bwino ndi tantalum carbide (TaC), gulu lomwe limadziwika ndi kuyera komanso mphamvu zake zapadera. Kupaka kwa TaC kumapangitsa kuti mbaleyo ikhale yolimba komanso kukana kutentha kwambiri, ndikupangitsa kuti ikhale yabwino pamikhalidwe yovuta ya SiC epitaxial process.
TaC Coated Plate yatsopanoyi ndi chimbale chapadera chopangidwa kuti chigwiritsidwe ntchito munjira za SiC epitaxial, chopangidwa mwatsatanetsatane kuchokera kuzinthu zapamwamba za graphite. TaC Coated Plate pamwamba ndi yokutidwa bwino ndi tantalum carbide (TaC), gulu lodziwika ndi chiyero chake chapadera ndi mphamvu. imakhala ngati nsanja yodalirika yonyamulira zopatulira panthawi zosiyanasiyana za kukula kwa SiC epitaxial. Maziko ake a graphite oyeretsedwa kwambiri amapereka malo okhazikika komanso osasunthika, pamene chophimba cha TaC chimawonjezera chitetezo chowonjezera ku machitidwe a mankhwala ndi kuvala.
SemicnthawiTaC Coated Plate imasinthidwa malinga ndi zofunikira za makasitomala, kuwonetsetsa kuti ikugwira ntchito bwino komanso ikugwirizana ndi machitidwe awo a SiC epitaxial. Kaya ndi kukula, mawonekedwe, kapena zina, mbale izi zimakonzedwa kuti zigwirizane ndi zosowa zapadera za pulogalamu iliyonse.
ndi komanso popanda TaC
Mukatha kugwiritsa ntchito TaC (kumanja)
Komanso, Semicera'sZinthu zokutidwa ndi TaCkuwonetsa moyo wautali wautumiki komanso kukana kutentha kwambiri poyerekeza ndiZovala za SiC.Miyezo ya labotale yawonetsa kuti athuZovala za TaCimatha kuchita mosasinthasintha kutentha mpaka madigiri 2300 Celsius kwa nthawi yayitali. M'munsimu muli zitsanzo za zitsanzo zathu:
