Kupaka kwa TaCndi zokutira zofunika zakuthupi, zomwe nthawi zambiri zimakonzedwa pamaziko a graphite ndi ukadaulo wazitsulo wa organic chemical vapor deposition (MOCVD). Chophimba ichi chili ndi zinthu zabwino kwambiri, monga kuuma kwakukulu, kukana kwambiri kuvala, kukana kutentha kwambiri ndi kukhazikika kwa mankhwala, ndipo ndi koyenera ku ntchito zosiyanasiyana zaumisiri zomwe zimafuna kwambiri.
Ukadaulo wa MOCVD ndiukadaulo wocheperako womwe umagwiritsidwa ntchito nthawi zambiri womwe umayika filimu yofunikira pagawo laling'ono pochita zinthu zoyambira zitsulo zokhala ndi mipweya yotentha kwambiri. PokonzekeraKupaka kwa TaC, kusankha zoyenera zitsulo zoyambira organic ndi magwero a kaboni, kuwongolera momwe zinthu zimayendera ndi magawo oyika, filimu ya TaC yofananira komanso wandiweyani imatha kuyikidwa pamaziko a graphite.
Semicera imapereka zokutira zapadera za tantalum carbide (TaC) pazinthu zosiyanasiyana ndi zonyamulira.Semicera kutsogolera njira yokutira imathandizira zokutira za tantalum carbide (TaC) kuti zikhale zoyera kwambiri, kukhazikika kwa kutentha kwambiri komanso kulolerana kwamankhwala, kupititsa patsogolo mtundu wamakristali a SIC/GAN ndi zigawo za EPI (Graphite yokutidwa ndi TaC susceptor), ndi kukulitsa moyo wa zigawo zikuluzikulu za reactor. Kugwiritsa ntchito tantalum carbide TaC ❖ kuyanika ndi kuthetsa vuto m'mphepete ndi kusintha khalidwe la kristalo kukula, ndi Semicera wapambana anathetsa tantalum carbide ❖ kuyanika luso (CVD), kufika mlingo mayiko apamwamba.
Pambuyo pazaka za chitukuko, Semicera yagonjetsa teknoloji yaCVD TaCndi zoyesayesa zolumikizana za dipatimenti ya R&D. Zowonongeka ndizosavuta kuchitika pakukula kwa zowotcha za SiC, koma mutatha kugwiritsa ntchitoTaC, kusiyana kwake ndi kwakukulu. Pansipa pali kufananiza kwa zophika zophika ndi popanda TaC, komanso magawo a Simicera pakukula kwa kristalo imodzi.
ndi komanso popanda TaC
Mukatha kugwiritsa ntchito TaC (kumanja)
Komanso, Semicera'sZinthu zokutidwa ndi TaCkuwonetsa moyo wautali wautumiki komanso kukana kutentha kwambiri poyerekeza ndiZovala za SiC.Miyezo ya labotale yawonetsa kuti athuZovala za TaCimatha kuchita mosasinthasintha kutentha mpaka madigiri 2300 Celsius kwa nthawi yayitali. M'munsimu muli zitsanzo za zitsanzo zathu:
