TaC yokutidwa mphete za graphite zowongoleraamanena za mafunsidwe a wosanjikiza woonda watantalum carbidepamwamba pa mphete ya kalozera wa graphite kuti apititse patsogolo kukana kwake, kutentha kwambiri komanso kukhazikika kwamankhwala. Kupaka uku kumapangidwa pamwamba pa mphete ya kalozera wa graphite pogwiritsa ntchito njira monga vapor deposition (PVD) kapena chemical vapor deposition (CVD).
Semicera imapereka zokutira zapadera za tantalum carbide (TaC) pazinthu zosiyanasiyana ndi zonyamulira.Semicera kutsogolera njira yokutira imathandizira zokutira za tantalum carbide (TaC) kuti zikhale zoyera kwambiri, kukhazikika kwa kutentha kwambiri komanso kulolerana kwamankhwala, kupititsa patsogolo mtundu wamakristali a SIC/GAN ndi zigawo za EPI (Graphite yokutidwa ndi TaC susceptor), ndi kukulitsa moyo wa zigawo zikuluzikulu za reactor. Kugwiritsa ntchito tantalum carbide TaC ❖ kuyanika ndi kuthetsa vuto m'mphepete ndi kusintha khalidwe la kristalo kukula, ndi Semicera wapambana anathetsa tantalum carbide ❖ kuyanika luso (CVD), kufika mlingo mayiko apamwamba.
Pambuyo pazaka za chitukuko, Semicera yagonjetsa teknoloji yaCVD TaCndi zoyesayesa zolumikizana za dipatimenti ya R&D. Zowonongeka ndizosavuta kuchitika pakukula kwa zowotcha za SiC, koma mutatha kugwiritsa ntchitoTaC, kusiyana kwake ndi kwakukulu. Pansipa pali kufananiza kwa zophika zophika ndi popanda TaC, komanso magawo a Simicera pakukula kwa kristalo imodzi.
Zina zazikulu za mphete zowongolera za graphite zophimbidwa ndi TaC zikuphatikiza:
1. Kutentha kwakukulu kwa kutentha: Kupaka kwa TaC kumakhala ndi kutentha kwapamwamba kwambiri ndipo kumatha kukhalabe bata m'malo otentha kwambiri.
2. Valani kukana: Kuuma kwakukulu kwa tantalum carbide wosanjikiza woonda kumapereka mphete yowongoka kukana kuvala bwino ndikuwonjezera moyo wake wautumiki.
3. Kukhazikika kwa Chemical: Kupaka kwa TaC kumakhala kosasunthika kwambiri polimbana ndi dzimbiri, ndikupangitsa kuti ikhale yoyenera kugwiritsidwa ntchito pazinthu zina zowononga.
4. Chepetsani kukangana: Kupaka kwa TaC kumatha kuchepetsa mkangano pakati pa mphete ya kalozera wa graphite ndi zigawo zina ndikuwongolera magwiridwe antchito a zisindikizo zamakina.
ndi komanso popanda TaC
Mukatha kugwiritsa ntchito TaC (kumanja)
Komanso, Semicera'sZinthu zokutidwa ndi TaCkuwonetsa moyo wautali wautumiki komanso kukana kutentha kwambiri poyerekeza ndiZovala za SiC.Miyezo ya labotale yawonetsa kuti athuZovala za TaCimatha kuchita mosasinthasintha kutentha mpaka madigiri 2300 Celsius kwa nthawi yayitali. M'munsimu muli zitsanzo za zitsanzo zathu:
