Kuchita Kwabwino Kwambiri Maboti a Silicon Carbide Wafer mu Kukula kwa Crystal

Njira zakukula kwa Crystal zili pamtima pakupanga semiconductor, komwe kupanga zowotcha zapamwamba ndizofunikira kwambiri. Chofunikira kwambiri munjira izi ndisilicon carbide (SiC) bwato lakunja. Maboti a SiC wafer adziwika bwino pamsika chifukwa cha magwiridwe antchito ake apadera komanso kudalirika. M'nkhani ino, tiona makhalidwe ochititsa chidwi aMabwato a SiCndi gawo lawo pothandizira kukula kwa kristalo pakupanga semiconductor.

Mabwato a SiCamapangidwa makamaka kuti azigwira ndi kunyamula zowotcha za semiconductor panthawi zosiyanasiyana za kukula kwa kristalo. Monga zakuthupi, silicon carbide imapereka kuphatikiza kwapadera kwa zinthu zofunika zomwe zimapangitsa kukhala chisankho chabwino pamabwato ophatikizika. Choyamba ndi chachikulu mphamvu zake makina ndi mkulu-kutentha bata. SiC ili ndi kuuma kwambiri komanso kukhazikika, kulola kuti ipirire zovuta zomwe zimakumana nazo panthawi yakukula kwa kristalo.

Mmodzi kiyi mwayi waMabwato a SiCndi wapadera matenthedwe madutsidwe. Kutentha kwa kutentha ndi chinthu chofunikira kwambiri pakukula kwa kristalo, chifukwa kumakhudza kufanana kwa kutentha ndikulepheretsa kupsinjika kwa kutentha pazitsulo. Kutentha kwamphamvu kwa SiC kumathandizira kusamutsa kutentha koyenera, kuwonetsetsa kuti kutentha kugawika m'magawo opatulira. Khalidweli limapindulitsa kwambiri munjira monga kukula kwa epitaxial, komwe kuwongolera kutentha ndikofunikira kuti mukwaniritse kuyika filimu yofananira.

Komanso,Mabwato a SiCkusonyeza inertness kwambiri chemical. Amagonjetsedwa ndi mitundu yambiri ya mankhwala owononga ndi mpweya omwe amagwiritsidwa ntchito popanga semiconductor. Kukhazikika kwamankhwala kumatsimikizira iziMabwato a SiCsungani umphumphu wawo ndikuchita bwino pakukhudzidwa kwanthawi yayitali kumadera ovuta. kukana kuukira kwa mankhwala kumalepheretsa kuipitsidwa ndi kuwonongeka kwa zinthu, kumateteza mtundu wa zopyapyala zomwe zikukulitsidwa.

Kukhazikika kwa mabwato a SiC wafer ndi chinthu china chodziwika bwino. Zapangidwa kuti zisunge mawonekedwe awo ndi mawonekedwe ngakhale pansi pa kutentha kwakukulu, kuonetsetsa kuti zowombazo zili bwino panthawi ya kukula kwa kristalo. Kukhazikika kwa dimensional kumachepetsa kupindika kulikonse kapena kupindika kwa boti, zomwe zitha kupangitsa kuti isamayende bwino kapena kukula kosafanana pamipando yopyapyala. Kuyika kolondola kumeneku ndikofunikira kuti mukwaniritse mawonekedwe owoneka bwino a crystallographic ndikufanana muzotsatira za semiconductor.

Maboti a SiC wafer amaperekanso zinthu zabwino kwambiri zamagetsi. Silicon carbide ndi chida cha semiconductor palokha, chodziwika ndi bandgap yake yayikulu komanso voteji yosweka kwambiri. Makhalidwe amagetsi a SiC amawonetsetsa kutayikira kwamagetsi pang'ono komanso kusokoneza panthawi yakukula kwa kristalo. Izi ndizofunikira makamaka pokulitsa zida zamphamvu kwambiri kapena kugwira ntchito ndi zida zamagetsi zamagetsi, chifukwa zimathandiza kusunga kukhulupirika kwa zida za semiconductor zomwe zimapangidwa.

Kuphatikiza apo, mabwato opota a SiC amadziwika chifukwa cha moyo wautali komanso kusinthikanso. Amakhala ndi nthawi yayitali yogwira ntchito, ndipo amatha kupirira mikombero yakukula kwa makristalo ambiri popanda kuwonongeka kwakukulu. Kukhazikika uku kumapangitsa kuti pakhale kutsika mtengo komanso kumachepetsa kufunika kosintha pafupipafupi. Kugwiritsiridwa ntchito kwa mabwato a SiC wafer sikuti kumangothandizira kupanga zinthu zokhazikika komanso kumawonetsetsa kuti magwiridwe antchito ndi odalirika pakukula kwa kristalo.

Pomaliza, mabwato opyapyala a SiC akhala gawo lofunikira pakukula kwa kristalo pakupanga semiconductor. Mphamvu zawo zapadera zamakina, kukhazikika kwa kutentha kwambiri, kutenthetsa kwamafuta, kusakhazikika kwamankhwala, kukhazikika kwa mawonekedwe, komanso mphamvu zamagetsi zimawapangitsa kukhala ofunikira kwambiri pakuwongolera njira zakukula kwa kristalo. Maboti opatulira a SiC amawonetsetsa kugawa kwa kutentha kofananira, kuletsa kuipitsidwa, ndikupangitsa kuti zophatikizika ziziwoneka bwino, zomwe zimatsogolera kupanga zida zapamwamba za semiconductor. Pomwe kufunikira kwa zida zapamwamba za semiconductor kukukulirakulira, kufunikira kwa mabwato ophatikizira a SiC kuti akwaniritse kukula koyenera kwa kristalo sikungapitirire.