Momwe mungayesere kukana kwa pepala la filimu yopyapyala?

Makanema owonda omwe amagwiritsidwa ntchito popanga semiconductor onse amakana, ndipo kukana mafilimu kumakhudza mwachindunji magwiridwe antchito a chipangizocho. Nthawi zambiri sitiyesa kukana kwathunthu kwa filimuyo, koma gwiritsani ntchito kukana kwa pepala kuti muwonetsere.

Kodi sheet resistance ndi volume resistivity ndi chiyani?

Volume resistivity, yomwe imadziwikanso kuti volume resistivity, ndi chikhalidwe cha zinthu zomwe zimasonyeza kuchuluka kwa zinthu zomwe zimalepheretsa kuyenda kwa magetsi. Chizindikiro chogwiritsidwa ntchito kwambiri ρ chikuyimira, gawolo ndi Ω.

Kukaniza kwa pepala, komwe kumatchedwanso kuti sheet resistance, dzina la Chingerezi ndilo kukana kwa pepala, lomwe limatanthawuza kutsutsa kwa filimu pa gawo lililonse. Zizindikiro zomwe zimagwiritsidwa ntchito kwambiri Rs kapena ρs kufotokoza, gawo ndi Ω/sq kapena Ω/●

Ubale pakati pa awiriwa ndi: sheet resistance = volume resistivity/film makulidwe, ndiko kuti, Rs =ρ/t

Muyezeranji kukana kwa pepala?

Kuyeza kukana kotheratu kwa filimu kumafuna chidziwitso cholondola cha miyeso ya geometric ya filimuyo (utali, m'lifupi, makulidwe), yomwe imakhala ndi zosiyana zambiri ndipo imakhala yovuta kwambiri kwa mafilimu owonda kwambiri kapena osasinthika. Kukaniza kwa pepala kumangogwirizana ndi makulidwe a filimuyo ndipo kumatha kuyesedwa mwachangu komanso mwachindunji popanda kuwerengera zovuta kukula.

Ndi mafilimu ati omwe amafunikira kuyeza kulimba kwa mapepala?

Nthawi zambiri, mafilimu ochititsa chidwi ndi mafilimu a semiconductor amafunika kuyesedwa kuti azitha kukana, pomwe mafilimu otetezera sayenera kuyezedwa.
Mu semiconductor doping, kukana kwa pepala kwa silicon kumayesedwanso.

Kodi mungayeze bwanji kukana kwa square?

Njira zinayi zofufuzira nthawi zambiri zimagwiritsidwa ntchito m'makampani. Njira ya probe inayi imatha kuyeza kukana koyambira kuyambira 1E-3 mpaka 1E+9Ω/sq. Njira ya probe inayi ingapewe zolakwika za kuyeza chifukwa cha kukana kukhudzana pakati pa kafukufuku ndi chitsanzo.

Njira zoyezera:
1) Khazikitsani ma probe anayi okonzedwa molingana pamwamba pa chitsanzo.
2) Ikani mpweya wokhazikika pakati pa ma probe awiri akunja.
3) Dziwani kukana poyesa kusiyana komwe kungakhalepo pakati pa zofufuza ziwiri zamkati

RS: kukana pepala
ΔV: Kusintha kwamagetsi kuyeza pakati pa ma probe amkati
I : Zomwe zikuchitika pano pakati pa ma probe akunja